ICP-MS Spektrometre

Analitik bir cihaz olarak ICP-MS iki üniteden oluşmaktadır:
1) İndüktif olarak eşleştirilmiş plazma (ICP) ve
2) Kütle spektrometresi (MS).
Analiz edilmek istenen örnekteki elementler ICP de iyonlaştırıldıktan sonra kütle spektroskopisine gönderilir ve burada kütle/yük oranlarına göre ayrılarak ölçümleri gerçekleştirilir.
ICP-MS direk olarak çözeltide iz element derişimlerinin belirlenmesi işlemi için kullanılabilmektedir. ICP-MS Spektrometresi çok sayıda elementi aynı anda analiz edebilme özelliği taşımaktadır. Bu özelliği ile nitel analizlerde ve izotop oranlarının belirlenmesinde olduğu gibi, başta metalik elementler olmak üzere periyodik tablodaki elementlerin büyük çoğunluğunun nicel ve yarı-nitel analizlerinde de kullanılmaktadır.